文献类型：期刊文献

中文题名：新型可调谐的微环滤波器的制作与性能测试

英文题名：Fabrication and performance test of noveltunable microring filter

作者：申小萌[1]

第一作者：申小萌

机构：[1]新乡学院物理与电子工程学院,河南新乡453003

第一机构：新乡学院物理与电子工程学院

年份：2021

卷号：40

期号：11

起止页码：84-87

中文期刊名：传感器与微系统

外文期刊名：Transducer and Microsystem Technologies

收录：CSTPCD;;北大核心:【北大核心2020】；CSCD:【CSCD_E2021_2022】；

基金：河南省自然科学基金资助项目(182300410258)。

语种：中文

中文关键词：绝缘体上硅;微环谐振器;马赫-曾德尔干涉仪;可调谐性

外文关键词：silicon-on-insulator(SOI);microring resonator;Mach-Zehnder interferometer(MZI);tunability

摘要：基于绝缘体上硅(SOI)制作了单环及双环滤波器,并且对其滤波特性进行研究的同时分析了光耦合系数对滤波器输出特性的影响。针对倏逝波耦合结构较弱的调谐能力,提出了马赫-曾德尔干涉仪(MZI)耦合器的改进结构。微环腔长均为1218μm的单环和双环滤波器,对于单双环,当电极功率分别在18~37 mW和20~29 mW范围时,可实现滤波器从欠耦合-临界耦合的调谐,且双环滤波器的中心波长在直通端电极功率0~26 mW范围移动了1 nm,相当于一个自由频谱宽度。
Single loop and double loop filters based on silicon on insulator(SOI)are fabricated,and their filtering characteristics are studied.At the same time,the influence of optical coupling coefficient on the output characteristics of filters is analyzed.Aiming at the weak tuning ability of evanescent wave coupling structure,an improved structure of Mach Zehnder interferometer(MZI)coupler is proposed.The length of micro ring cavity is 1218μm.For single and double loop filters,when the electrode power is in the range of 18~37 mW and 20~29 mW respectively,the filter can be tuned from under coupling to critical coupling,and the center wavelength of the double loop filter shifts by 1nm in the range of 0~26 mW,which is equivalent to a free spectrum width.